冷场发射扫描电子显微镜SU8010
(MDTC-EQ-M18-01)
型号规格:HITACHI SU8010
注意事项:主要功能 1、材料的高分辨形貌分析 2、镀层表面形貌分析和深度检测 3、化学成分像分布,微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究 4、集成电路中的损伤研究,金属和薄膜电阻的导电形式 5、材料的晶体结构、晶体取向分布分析等 6、能谱仪具有点、线、面分析功能,具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能 7、配备真空转移装置,可在不接触空气的环境中更换样品 技术参数 1、 电子枪:冷阴极场发射电子源 2、 放大倍率:20~2000倍(低倍模式),100~800000倍(高倍模式)
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