原位X射线光电子能谱仪(In-Situ XPS)
(MDTC-EQ-M20-01)
PHI 5000 VersaProbe II
主要功能
该设备不仅能够满足材料及器件表面成份和价态定性、定量分析,获得材料表面/界面元素成像、价态成像,满足集成电路损伤探测与分析,而且它还能够实现对材料及器件进行深度剖析、能级结构确定、高低温原位测试、准原位化学反应分析测试,能够满足包括绝缘体、退磁样品、多层膜结构材料在内的各类样品成份、价态、能级测定需要。
测试项目
宽谱、窄谱、Ar离子刻蚀、GCIB刻蚀、UPS、变角XPS测试、变温XPS测试、真空转移样品测试等
  • 设备预约
  • 预约记录